2020年12月2日 碳化硅外延材料的主要设备 ，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大；2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。3、日 2019年9月2日 二是碳化硅芯片主要的工艺设备基本上被国外公司所垄断，特别是高温离子注入设备、超高温退火设备和高质量氧化层生长设备等，国内大规模建立碳化硅工艺线 碳化硅SIC材料研究现状与行业应用 知乎2020年12月8日 目前全球95%以上的半导体元件，都是以代半导体材料硅作为基础功能材料，不过随着电动车、5G等新应用兴起，硅基半导体受限硅材料的物理性质，在性能上有不易突破的瓶颈，因此以氮化 工艺详解碳化硅晶片的工艺流程 知乎
2020年12月24日 合成碳化硅所用的原料主要是以SiO2为主要成分的脉石英或石英砂与以C为主要成分的石油焦，低档次的碳化硅可用地灰分的无烟煤为原料。辅助原料为木屑和 2021年中国碳化硅（SiC）行业产业链上中下游市场分析（附产业链全景图） 中商情报网讯：碳化硅是由硅和碳组成的无机化合物，在热、化学、机械方面都非常稳定。 碳原子和 2021年中国碳化硅（SiC）行业产业链上中下游市场分析（附 碳化硅冶炼工艺 碳化硅具有耐高温、耐磨、抗冲刷、耐腐蚀和质量轻的特点。 碳化硅在高温下的 氧化是其损害的主要原因。 冶炼工业硅的原料主要有硅石、碳质还原剂。 由于对 碳化硅冶炼工艺百度文库
2019年2月26日 碳化硅冶炼时，电阻炉供电，炉芯体温度上升，达到2600℃左右，通过炉芯体表面传热给周围的混合料，使之发生反应生成碳化硅，并溢出CO。 CO在炉表面燃烧 2 天之前 高温制备碳化硅冶炼块的热工设备是专用的碳化硅电炉，其结构由炉底、内面镶有电极的端墙、可卸式侧墙、炉心体等组成。该电炉所用的烧成方法俗称：埋粉烧成。 它 碳化硅怎么生产的？技术内存溢出2014年3月26日 碳化硅生产过程中产生的问题： 1施工期的环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点: ①扬尘，土石方施工、建筑材料的运输和堆存会产生扬尘， 碳化硅生产工艺中主要产生哪些污染物?如何防治污染?常见
2020年12月2日 碳化硅外延材料的主要设备 ，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大；2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。3、日本的TEL和Nuflare，其设备的价格非常昂贵，其次是双腔体，对提高产量有一定的作用。其中 2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做 2022年1月4日 投资不易，同志仍需努力！碳化硅3个常识点 ：1、碳化硅领域在车载功率器件、光伏逆变器领域快速起量，赛道成长速度快 ！2、碳化硅目前供需情况是一片难求，核心点是上游长晶环节衬底生产慢导致 ！3、衬底在碳化硅价值占比是50%左右量，所以天岳、露笑等标的市场关注火爆！碳化硅（SiC）设备和工艺情况跟踪 ！ 投资不易，同志仍需
2020年12月24日 合成碳化硅所用的原料主要是以SiO2为主要成分的脉石英或石英砂与以C为主要成分的石油焦，低档次的碳化硅可用地灰分的无烟煤为原料。辅助原料为木屑和食盐。碳化硅有黑、绿两种。冶炼绿碳化硅时要求硅质原料中SiO2含量尽可能高，杂质含量尽量 2021年10月15日 据报道，项目计划投资建设碳化硅（SiC）功率器件生产研发中心，一期占地50亩，包含6英寸的碳化硅功率器件生产线与工艺研发平台，预计2021年设备进场安装和调试，2022年投入生产，形成年产30万片6英寸晶圆的生产能力。本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！ 知乎专栏产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽” 集微网报道，2022年以来，受全球消费电子市场整体放缓以及新冠疫情反复的影响，半导体产业在经历了持续良久的高景气后开启了去库存周期。 值得一提的是，虽然半导体产业已经步入下行周期，但仍有部分 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻
碳化硅冶炼工艺 碳化硅具有耐高温、耐磨、抗冲刷、耐腐蚀和质量轻的特点。 碳化硅在高温下的 氧化是其损害的主要原因。 冶炼工业硅的原料主要有硅石、碳质还原剂。 由于对工业硅中铝、钙、 铁含量限制严格，对原料的要求也特别严格。 硅石中 SiO2>990 2021年12月4日 碳化硅粉体合成设备用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉体，高质量的碳化硅粉体在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。 碳化硅粉体合成设备主要技术难点在于高温高真空密封与控制、真空室水冷、真空及测量系统、电气控制系统、粉体合成坩埚加热与耦合技术。碳化硅（SiC）产业研究由入门到放弃（一） 转载自：信熹 2022年3月22日 掌握了碳化硅晶 片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全 流程关键技术和工艺。2020 年 8 月 17，公司碳化硅 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有
2017年4月21日 中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序依靠人力完成，人均产量较低。2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做 2020年12月24日 合成碳化硅所用的原料主要是以SiO2为主要成分的脉石英或石英砂与以C为主要成分的石油焦，低档次的碳化硅可用地灰分的无烟煤为原料。辅助原料为木屑和食盐。碳化硅有黑、绿两种。冶炼绿碳化硅时要求硅质原料中SiO2含量尽可能高，杂质含量尽量 碳化硅冶炼工艺反应
碳化硅冶炼工艺 碳化硅具有耐高温、耐磨、抗冲刷、耐腐蚀和质量轻的特点。 碳化硅在高温下的 氧化是其损害的主要原因。 冶炼工业硅的原料主要有硅石、碳质还原剂。 由于对工业硅中铝、钙、 铁含量限制严格，对原料的要求也特别严格。 硅石中 SiO2>990 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽” 集微网报道，2022年以来，受全球消费电子市场整体放缓以及新冠疫情反复的影响，半导体产业在经历了持续良久的高景气后开启了去库存周期。 值得一提的是，虽然半导体产业已经步入下行周期，但仍有部分 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻2022年3月2日 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有望突破 1 SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心 11 SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。 核心分 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有
2017年4月21日 中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。 黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。 但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序依靠人力完成，人均产量较低。 （2）碳化硅的分散 2022年3月22日 掌握了碳化硅晶 片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全 流程关键技术和工艺。2020 年 8 月 17，公司碳化硅 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 2017年4月21日 中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序依靠人力完成，人均产量较低。简述碳化硅的生产制备及其应用领域中国粉体网
2015年7月19日 中国的碳化硅冶炼炉主要分布在青海、宁夏、甘肃、河南、贵州 以及东北部分地区。发展到今一炉体；2一电极；3一母线；4一母线与变压器二次出线端连结直形碳化硅冶炼炉结构示意图活动炉在生产过程中变压器及母线固定，炉体移动；固定炉在 2021年4月13日 2通过查阅文献，本文总结了碳化硅的性质、冶炼 方法及应用内容，并总结了当前工业生产碳化硅的生产工艺，详细介绍并对比了了碳化硅的各种合成方法。比如：艾奇逊法设备简单、投资少，广泛为石阶上冶炼 SiC 的工厂所采用。但该法的主要 碳化硅冶炼工艺设计508docx原创力文档